VERDAMPFUNGSMATERIALIEN

Eine optimale Verdampfungsleistung für die Dünnschichtabscheidung hängt von hochreinen Materialien ab, die speziell für PVD-Prozesse entwickelt wurden. Dafür sind Verdampfungsmaterialien mit geringen organischen und anorganischen Verunreinigungen und minimaler Oberflächenkontamination erforderlich, was zu einer hoch reproduzierbaren Leistung mit geringen Spritzraten und Defekten führt. 

Die Verdampfungsmaterialien von Materion lösen Bedenken hinsichtlich hoher Reinheit, Sauberkeit, Reproduzierbarkeit und Gleichmäßigkeit von Beschichtungen. Unsere Materialien sind in verschiedenen Formen erhältlich, darunter Rohlinge, Pellets, Körner, Stäbe, Drähte, Sonderformen und Starterquellen, und sind in Edelmetallen und unedlen Metallen, anorganischen Chemikalien und Spezialkeramiken erhältlich, um alle wichtigen OEM-Plattformen zu unterstützen. 

Vorteile unserer Verdampfungsmaterialien: 

• Verfügbar in elementaren und zusammengesetzten Materialien 
• Verbesserte Produktausbeute 
• Konforme Metalle 
• Konsistente Materialeigenschaften von Charge zu Charge 
• Geringe organische und anorganische Verunreinigungen 

ULTRAHOCHREINE VERDAMPFUNGSMATERIALIEN: EVAPRO® 

Materion bietet ultrahochreine EVAPro®-Verdampfungsmaterialien mit einer Reinheit von bis zu 99,999 %. Unser proprietäres Verfahren erzeugt ultraniedrige Gas- und nichtmetallische Einschlüsse, um die Eigenschaften der Dünnschichtabscheidung zu optimieren, was dazu beiträgt: 

• Spritzerbildung durch höchste Reinheitsgrade und das einzigartige Verfahren zu reduzieren 
• Ausbeute zu steigern und Kosten zu senken 
• Werkzeugverfügbarkeit zu erhöhen 
• Filmgleichmäßigkeit zu verbessern 
• Prozessparameter zu stabilisieren 
• Teil-zu-Teil-Variationen zu reduzieren 

HERKÖMMLICHE Slugs DURCH MASSGESCHNEIDERTE STARTERQUELLEN VON MATERION ERSETZEN

Erhöhen Sie die Ausbeute und minimieren Sie Ausfallzeiten mit Verdampfungsstarterquellen, die in das Herzstück von Elektronenstrahlsystemen passen. Wir bieten maßgeschneiderte Starterquellen für einen stabileren Prozess, der zu einer gleichmäßigen Verdampfung führt, indem die inkonsistente Topografie der Slugs eliminiert wird. Dies bietet eine gleichmäßigere Oberfläche, über die der Strahl streichen kann, und sorgt für eine gleichmäßigere Nutzung der Leistung, die weniger Anpassungen erfordert, um optimale Beschichtungsraten zu erreichen. 

Materions Starterquellen sind in Nickel, Gold, Titan, Platin, Aluminium, Chrom, Kupfer und mehr als 20 Legierungszusammensetzungen erhältlich. 

• Entwickelt, um  
• Kundenanforderungen zu erfüllen 
• Erträge zu verbessern,  
• Kosten zu senken 
• Spritzraten während des Abscheidungsprozesses zu reduzieren 
• Maschinenbetriebszeit zu maximieren 
• Tiegelauskleidungen zu beseitigen 

SPEZIALKERAMISCH-ANORGANISCHE VERDAMPFUNGSMATERIALIEN 

Mit unserer technischen Expertise in Dünnschichtabscheidung und anorganischen Chemikalien arbeiten wir mit Kunden zusammen, um anorganische Dünnschichtmaterialien zu entwickeln und ihnen bei der Skalierung ihrer Abläufe zu helfen. Dünnschichtabscheidungsmaterialien von Materion bieten folgende Vorteile: 

• Streng kontrollierte Chemikalien und hochreine Materialien 
• Verfügbar in verschiedenen Formen und Größen 
• Handhabung gefährlicher Stoffe 
• Über 2.000 anorganische Chemikalien: Fluoride, Oxide, Nitride und mehr